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薄膜製造装置用冷却配管のスケール除去例
（WSC使用）
※ ISO14001取得工場で採用
| 【洗浄方法】 |
| 1. |
WSCを保水量に対して40％投入 |
| 2. |
５時間循環する |
| 3. |
液を抜いて水を投入し通常運転 |
| 【結果】 |
| ※ 下記の写真でわかるようにスケールで |
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覆われて動かなかったフローメーターが正常に動き出す。 |
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（配管内のスケールが除去・洗浄されたことがわかる） |
| ※ 洗浄後、設備の特性バラツキが減った。 |
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| 洗浄前クーリングタワー |
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| WSC投入直後 |
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除去したスケールで詰まる |
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| WSC投入直後 |
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洗浄後
（スケールが洗浄され水玉状に見える） |
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| WSC投入直後 |
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１時間後 |
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| ２時間後 |
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３時間後 |
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| ４時間後 |
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循環水 ５時間後 |
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| スケールが溜まり動かない |
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スケールが除去されWSCで洗浄中 |
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| 液を入れ替え正常に動き出す |
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| チラーユニット循環水と洗浄後の液 |
循環水 洗浄水の金属分析
| サンプル |
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Ｃａ |
Ｆｅ |
Ｃｕ |
Ｍｇ |
Ｍｎ |
Ｓｉ |
| クーリングタワー |
循環水 |
19.8 |
＜0.1 |
0.1 |
3.0 |
＜0.1 |
59.0 |
| 洗浄水 |
64.2 |
357.0 |
340.0 |
7.8 |
0.6 |
236.2 |
| チラーユニット |
循環水 |
0.1 |
＜0.1 |
0.1 |
＜0.1 |
＜0.1 |
＜0.1 |
| 洗浄水 |
5.6 |
107.9 |
585.5 |
1.1 |
1.1 |
22.4 |
※ クーリングタワーの洗浄水は、前日行ったチラーユニットの洗浄水を予備洗浄で
使用した為銅分が検出されている。チラーユニットは、循環水に純水を使用して
いるが洗浄後、上記のような金属分を検出。純水使用でも洗浄が必要だとわかる。 |
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