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研磨後のガラスウェハー洗浄例
（酸化セリウム、コロイダルシリカ）
TK-3使用
| ※研磨後のガラスウェハー洗浄 |
| スラリー：酸化セリウム、シリカ |
| 【洗浄方法】 |
| 1. |
スラリー付着面にTK-3、界面活性剤タイプの洗剤を
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| それぞれスプレー |
| 2. |
ベルクリンで擦る |
| 3. |
リンス |
| 4. |
乾燥 |
※洗浄方法は、現ラインに合わせられます。（お問い合わせ下さい）
| 【結果】 |
※ 洗浄後、肉眼では差は見られないが
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| 顕微鏡で見ると界面活性剤タイプの洗剤にスラリー残りが見える。 |
| スラリー：酸化セリウム |
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| 洗浄前 |
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洗浄後
TK-3 界面活性剤タイプ
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TK-3
（完全洗浄） |
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界面活性剤タイプ
（研磨剤が残る） |
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| スラリー：コロイダルシリカ |
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| 洗浄前 |
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洗浄後
TK-3 界面活性剤タイプ
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TK-3
（完全洗浄） |
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界面活性剤タイプ
（研磨剤が残る） |
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