スラリー（研磨材）・スケール（水配管内） 洗浄のページ 人・環境に優しい洗剤 定期的な設備、 配管の洗浄を行い歩留まりアップ、品質安定に！！ ※　洗浄剤の液流のみで（ブラシ・ヘラ使用無し） 研磨機付着研磨材洗浄！ （フィルター内に付着したコロイダルシリカスラリー） 洗　浄　前 洗　浄　後 洗　浄　前 洗　浄　後 ※　研磨材供給ホース内付着研磨材洗浄テスト 研磨材：酸化セリウム 研磨材が固着 洗浄後研磨材が無くなる 洗浄前 洗浄剤を循環 研磨材が排出 すべて排出（３時間後） 研磨材タンク内に洗浄剤（TK-2）を入れ数時間循環するだけで 配管内、ホース内が綺麗になり歩留まり、品質安定 ※　冷却配管内スケール洗浄 アニール装置内配管(WSC使用) 冷却配管 洗浄剤循環 洗浄前 洗浄後 洗浄前 洗浄後 洗浄前 洗浄後 配管内に洗浄剤（WSC）を数時間循環するだけで 配管内スケールが洗浄され歩留まりアップ、品質安定 洗浄前 洗浄後 洗　浄　手　順(WSC) 外蓋・中蓋を外す 洗浄剤を投入 中性・BOD、COD値が低いので洗浄作業から廃液処理まで社内で作業可能 洗浄剤循環 洗　浄　前 洗　浄　後 配管内洗浄　→　電気代down　→　CO2削減 ★　NEWSはこちらから			FirstDuck （有）ファーストダック 研磨機・CMPマシンに 付着したスラリー（研磨材） の洗浄剤、洗浄方法の提供 研磨後のワーク洗浄 ワックス洗浄 その他の洗浄 水配管に付着したスケール （Ca、Fe、Si他）の洗浄剤、 洗浄方法の提供。 各種洗浄テスト及び 洗浄システムの確立。 洗浄テストを行い 御社にあった洗浄方法を 提案します。
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スラリー（研磨材）用洗浄剤			スケール用洗浄剤
（半導体仕様） 【HA-２】 ●　研磨機に付着した 　　　スラリー ●　スラリー供給パイプ 　　　（セリア） ●　部品洗浄（樹脂） ●　部品洗浄（金属） ●　CMPマシンヘッド ●　ウエハスライス用 　　　ワイヤー ●　スラリー供給タンク ●　クランプ	（一般仕様） 【TK-2】 ●　研磨機�@ ●　研磨機�A ●　サンギヤ ●　部品 　　（樹脂・ホース） ●　部品 　　（金属）	（研磨後洗浄用） 【TK-3】 ●　ガラスウエハ ●　液晶用ガラス 　　（焼け品再生） ●　乾燥機 　（小宮山製作所製）	（水配管スケール用） 【WSC】 ●　クーリングタワー ●　金型チラー ●　脱脂洗浄機 　　（洗浄力再生） ●　熱交換機 ●　冷凍機チラー 　　（クリンルーム用） ●　専用洗浄機
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